薄膜應力測試儀是一種用于測量物體內部或表面應力的設備。它通常基于不同原理工作，包括應變計、壓電傳感器和光學原理等。
通過薄膜應力測試儀可以獲得薄膜材料在制備、加工或使用過程中的應力分布情況，從而幫助工程師和研究人員了解薄膜材料的性能特征、穩定性和耐久性。這對于薄膜材料的設計、優化以及質量控制具有重要意義。
薄膜應力測試儀廣泛應用于半導體、光電子、醫療器械、航空航天等領域，為材料研究、工程設計和生產制造提供了重要的測試和分析手段。隨著技術的不斷進步，薄膜應力測試儀的精度、靈敏度和測量范圍也在不斷提升，為相關領域的科研和工程實踐提供了有力支持。
應變計是常用的應力測量儀之一。它利用材料在受力時產生的應變來測量應力。應變計將應變轉化為電阻、電壓或電流信號，并通過測量這些信號來確定應力水平。
壓電傳感器也被廣泛用于應力測量。壓電材料具有將機械應力轉化為電荷或電壓的特性。當施加應力時，壓電傳感器生成電荷或電壓信號，該信號可以被測量和分析以確定應力值。
光學方法也可用于應力測量。例如，光柵法利用光柵的形變來測量應力。當物體受到應力時，光柵會發生形變，這種形變可以通過測量光柵上的光的位移來確定應力水平。
除了這些基本原理外，還有其他類型的應力測量儀，如超聲波、磁性和熱敏傳感器等。這些測量儀器可以適用于不同的應用領域，包括工程、材料科學、航空航天和生物醫學等。
德國ilis公司成立于1998年，專業研發制造高精度應力雙折射分析軟件與測量設備，高精度型StrainMatic M4應力測量儀采用成像式光彈原理，直接測量光延遲，可以快速給出高分辨率的高精度測量結果。可對玻璃、晶體、塑料等透明物體等內在殘余應力進行測試，測試精度可達<0.1nm。
產品具有測量速度快、精度高、重復性好等特點，對大尺寸樣品可拼接測量。其應力測量設備用戶遍及*，用戶包括肖特、卡爾-蔡司、JENOPTIK、Saint-Gbbain、Euro-Glass等著名公司。應用領域包括光學材料、醫用包裝材料、高分子類密封材料等。
主要產品有三大系列：M系列高精度型；Flex系列可試式實時應力儀；S系列實時型；M系列大口徑拼接型；
