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作為先進的納米壓印設備，EVG7300紫外光納米壓印機憑借其300毫米晶圓處理能力、300納米級對準精度及模塊化設計，成為半導體、光學元件及生物醫療領域的關鍵制造工具。本文從設備結構、操作流程、關鍵參數調控及維護要點四方面，解析其高效使用的...
光學形貌儀進行表面粗糙度和表面形貌測量時，比探針式輪廓儀有更低的成本，但同樣使用了當今較高分辨率光學輪廓儀采用的白光干涉（WSI）及相移干涉（PSI）測量技術，垂直分辨率可達次納米級。光學形貌儀的直觀軟件包括表面粗糙度，形狀和臺階高度的測量，在數秒內，您可以獲得平面和曲面表面形貌測量所有常見的粗糙度參數。也可以選擇拼接功能軟件來組合多個影像以提供大面積的測量。光學形貌儀可存儲、共享、查看與分析來自您的光學輪廓儀或3D顯微鏡之3D影像。任何臺式電腦，平板電腦或智能手機上都能查看...
在加工行業當中，工人們經常使用到的一類測量儀器是膜厚儀，膜厚測量儀能夠對各類材料進行厚度的準確測量，從而能夠給加工企業帶來很好的參考建議。讓它們能夠做出詳細判斷和考量，以此來有效避免生產后期的大量返工。而用戶在使用膜厚儀的時候一定要特別小心謹慎，不能夠過于馬虎大意，只有這樣才能夠獲得更為準確的測量結果。那我們該怎樣正確使用膜厚測量儀呢？這是一個值得深刻進行探討的問題，下面就由測量專家來為大家進行解惑吧。第1、我們要選擇金屬磁性及表面粗糙度與試件基體接近的標準片來予以測量，這樣...
隔振臺采用了剛性彈簧和負剛度機制，達到極低凈垂向剛度，而凈符合支持能力則未受到絲毫影響。水平振動阻隔效果由梁柱與垂直運動隔離器串聯實現。只要調整至1/2Hz固定頻率，該工作站就能實現2Hz下93%的阻隔效率，5Hz下99%的阻隔效率和10Hz下99.7%的阻隔效率。MinusK垂直隔離器，附帶KineticSystem動力系統，更為您帶來更好的使用體驗和額外的底架空間。隔振臺主要優勢：1、小的厚度，輕的質量；2、大大提高設備性能及質量；3、易于集成到工作站中；4、沒有調試要求...
光刻技術實際上是一種精密表面加工技術，它借助于一定波長的激光光源以及選擇性的化學腐蝕和刻蝕技術把設計的微納圖案轉移到硅基板上。但是隨著集成電路功能和密度的提升傳統的光刻技術已經難以滿足當前對線寬越來越小的需求。但是打破衍射極限的大型光刻設備又極其昂貴。為了擺脫光學衍射極限和克服高成本的限制，一種操作簡單，成本低廉的納米壓印技術產生了。納米壓印的技術核心是充分利用機械能將剛性模板上的圖案轉到抗蝕劑上，之后再借助溶脫、剝離、刻蝕等將圖案轉移到基板上。到目前為止壓印技術已經發展出來...
白光干涉儀目前在3D檢測領域是精度高的測量儀器之一，在同等系統放大倍率下檢測精度和重復精度都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡，在一些納米級和亞納米級的超精密加工領域，除了白光干涉儀，其它的儀器無法達到其測量精度要求。儀器的測量原理：本儀器是利用光學干涉原理研制開發的超精密表面輪廓測量儀器。照明光束經半反半透分光鏡分威兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個表面反射的兩束光再次通過分光鏡后合成一束光，并由成像系統在CCD相機感光面形成兩個疊加的像。由于兩束光相互干涉，在C...